文/新戰(zhàn)略機器人全媒體實習(xí)記者 北棠
伴隨著自動化改造熱潮的興起，AGV+機械手集“手腳”兩項功能于一身的復(fù)合型機器人也越來越被各行業(yè)追捧。從行業(yè)需求上來看，汽車和半導(dǎo)體等電子設(shè)備對機器人的需求日益增長，其中復(fù)合機器人成為半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用較為成熟的智能設(shè)備。
半導(dǎo)體行業(yè)對機器人的應(yīng)用要求
半導(dǎo)體行業(yè)包括了眾多領(lǐng)域，在這些領(lǐng)域當(dāng)中又有著很多復(fù)雜的工序，比如前期的晶體制造、中期的封裝集成，還有后期的組裝包裝、運輸?shù)鹊取?/span>機器人進軍半導(dǎo)體行業(yè)既是一種挑戰(zhàn)也是一種趨勢，機器人本身需要具有易使用、性能靈活輕便，不僅要滿足無塵空間的等級要求，還要小心易碎的產(chǎn)品，對極為細(xì)微的器件需要高度精準(zhǔn)地定位、放置和組裝。
半導(dǎo)體行業(yè)對工業(yè)機器人的要求十分嚴(yán)格，在真空環(huán)境下，要保證機器人的潔凈度，因為半導(dǎo)體產(chǎn)品的特殊性，還要求機器人防震，防抖動，靜音生產(chǎn)，能夠有精準(zhǔn)到5mm的重復(fù)定位等等。
復(fù)合型機器人在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用
復(fù)合型機器人作為新型物流設(shè)備，柔性程度高，適應(yīng)能力強，融合了智能驅(qū)動導(dǎo)航技術(shù)等關(guān)鍵技術(shù)，可實現(xiàn)物料的自動搬運、智能分揀，已廣泛應(yīng)用在國際知名半導(dǎo)體行業(yè)中，并取得了較好應(yīng)用效果。
根據(jù)中國移動機器人（AGV）產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟、新戰(zhàn)略機器人產(chǎn)業(yè)研究所數(shù)據(jù)統(tǒng)計，目前全球半導(dǎo)體行業(yè)中AGV和機械手組合的復(fù)合型機器人的應(yīng)用已經(jīng)達(dá)到約5000臺，松下、西門子、富士通、環(huán)旭電子、華通科技、晶元光電等半導(dǎo)體企業(yè)，都將相關(guān)的AGV機器人應(yīng)用到了生產(chǎn)中。
在半導(dǎo)體行業(yè)中AGV移動機器人應(yīng)用最普遍，AGV傳送自動化也是傳送系統(tǒng)自動化的一項內(nèi)容，它已成為了現(xiàn)代化半導(dǎo)體工廠自動化系統(tǒng)中最大的單項投資項目。
移動搬運機器人（AGV）為半導(dǎo)體產(chǎn)品提供物流支持，可以實現(xiàn)車間內(nèi)、車間與車間的自由移動。物流設(shè)備自動化通常和傳統(tǒng)流水線，自動立體庫，AGV小車等其他傳送相關(guān)的執(zhí)行器，包括如何將其運送到工藝設(shè)備端或者在不同的存儲區(qū)域之間進行調(diào)度，以及晶片在工藝設(shè)備內(nèi)部的傳送（包括物料緩沖區(qū)，裝載端口，晶片傳送機械手臂等）。
半導(dǎo)體加工環(huán)境要求在其內(nèi)運行的設(shè)備需要具有高潔凈等級、防靜電、高可靠性等特點。所以在IC環(huán)境下所用的復(fù)合機器人在滿足基本搬運要求的同時還要兼顧上述特點。
在半導(dǎo)體生產(chǎn)車間中，AGV移動機器人的輪子要符合標(biāo)準(zhǔn)，調(diào)控必須便利，還必須是無軌導(dǎo)航。這樣一系列的高標(biāo)準(zhǔn)讓不少機器人企業(yè)望而卻步，但從另一個角度看，這說明半導(dǎo)體行業(yè)“門檻較高”，這也給復(fù)合機器人企業(yè)的進入設(shè)定了一定的條件。
新松為半導(dǎo)體行業(yè)開發(fā)的真空機器人及復(fù)合機器人
潔凈（真空）機器人及半導(dǎo)體裝備作為新松公司的核心業(yè)務(wù)之一，現(xiàn)已形成大氣機械手、真空機械手、EFEM、真空平臺、STOCKER和AMHS系統(tǒng)多個產(chǎn)品線。潔凈產(chǎn)品客戶現(xiàn)已遍及大陸以及臺灣地區(qū)。
目前，新松潔凈機器人已徹底打破國外同類企業(yè)在半導(dǎo)體領(lǐng)域的壟斷局面，擁有國內(nèi)市場50%以上份額。
新松復(fù)合機器人基于移動機器人和工業(yè)機器人系統(tǒng)的創(chuàng)新融合，綜合視覺補償、力覺控制、碰撞保護和主動導(dǎo)航等技術(shù)，可快速布局自動化工廠，適應(yīng)高柔性化生產(chǎn)模式，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體封裝測試環(huán)節(jié)，可滿足FOUP,CST,MGZ在各機臺間的自動運輸，終端定位精度可達(dá)±0.05mm，CLASS 100潔凈度，能為半導(dǎo)體生產(chǎn)應(yīng)用提供最優(yōu)的系統(tǒng)解決方案。
目前，新松的復(fù)合機器人在半導(dǎo)體行業(yè)也有大量應(yīng)用。
