微機電系統（MEMS）產業集中了當今科學技術發展的許多尖端成果，涉及多種學科和工程技術，具有體積小、重量輕、功耗低、價格低、集成度高、可批量制造等優點。在生活當中，MEMS傳感器已經在智能手機、智能家居、汽車中廣泛應用，例如手機上的硅麥克風、慣性傳感器、電子羅盤、高度計等，汽車上的溫度、壓力、位置、轉速、加速度和振動等傳感器件。隨著物聯網、智能家居、人工智能、智慧醫療等產業的發展，MEMS傳感器產品作為智能感知時代的重要硬件基礎，前景無限。今年，國家工業和信息化部下發意見函，中國工程院組織遴選的MEMS傳感器產業化等16個項目，擬作為《中國制造2025》2017年重大標志性。
【MEMS器件陣列（如圖，中央的正方體組件）】
【智能手機簡化示意圖】
據統計，2016年MEMS市場規模約114億美元，其中，國內需求規模約42億美元，占比36.8%。目前，國內MEMS產業鏈總體偏弱，尤其是制造環節，而且國內MEMS產品門類依然相對較少，主要還是以慣性器件和壓力傳感器為主，且多是中低端產品，創新性強的新器件、新系統鮮有出現，導致市場存在著巨大的供需矛盾，大部分需求只能依賴于進口。為了更深入的了解國內MEMS產業發展狀況，近日，今日智造的記者走訪了華東MEMS集群地，也是全球最大的納米技術應用綜合社區——蘇州納米城，采訪了蘇州納米城開發實體蘇州納米科技發展有限公司董事長兼總裁張希軍。
采訪中張總告訴記者，蘇州納米城MEMS產業鏈體系的構建，是站在整個產業格局立場，立足行業發展，根據自身資源、結合國內產業發展狀況做了一系列舉措，為MEMS產業的發展提供良好的土壤，以促進MEMS產業資源集聚和發展。
那么，蘇州納米城MEMS產業鏈的搭建是從哪些方面切實解決行業內存在的諸多問題呢？
【建立中試平臺】
國內MEMS產業最薄弱的環節在生產制造，而產品從實驗室走向市場化過程中，研發與批量化之間缺乏銜接。為此，蘇州納米城早在成立之初就建成了國內首個全開放、市場化運作的MEMS加工平臺，填補了產品概念驗證與規模代工廠之間的中試空白，平臺完全按照foundry模式建立，體系化管理，從根本上解決了中小MEMS設計企業產品化上的最大難題。
經過近4年的深耕，平臺具備了完整的工藝庫及各種器件工藝匹配能力。截止目前，已服客戶近30家，累計支撐客戶完成近85顆MEMS芯片開發生產，涉足領域廣泛，不僅有市場化程度很高的消費類及汽車電子產品，例如硅麥克風、壓力、氣體、溫度、流量計等，也有代表前沿技術或是具備市場增長潛質的工業類及通訊類產品，例如微鏡、噴墨頭、非制冷紅外、氣體、RF-MEMS等。同時，平臺在較短時間內實現了多個硅麥克風及微鏡項目量產，助力客戶將產品快速打入市場的同時，也為平臺的良好發展奠定了基礎。至2017年11月平臺月產已突破千片規模，成為國內最快實現此指標的MEMS代工企業之一，后續平臺將把穩定交付作為發展的重心。
【成立行業協會】
為了更好的推動中國MEMS產業的快速發展，創建企業展示自身發展的科技平臺，蘇州納米與國內40多家MEMS行業龍頭企業、頂級科研院所、知名高校共同成立“中國半導體行業協會MEMS分會”。協會旨在構建MEMS設計、研發、加工制造、封裝測試等全產業鏈聯動關系，實現以MEMS產品為主線的產業資源垂直整合，推動我國MEMS產業領域的人才集聚、技術創新、成果轉化。協會發展至今已匯聚產業鏈上、下游會員單位逾350家。
MEMS分會成立三年以來從事了一系列全國性產業扶持工作，帶動了和推動了全國產業發展。MEMS分會配合工信部連續多年從事MEMS行業職業技術培訓，培訓總計超過500人次，為行業輸送了大量二次培育的專精人才，具備MEMS培訓工作基礎及一定的學員基礎。自MEMS分會成立以來，積極開展多層次的技術和市場的交流合作，對國內各省市地區MEMS企業詳細梳理，收集整理年度產值數據，完成多份產業報告并舉辦多場全國性論壇并參與行業展覽，不斷增加協會粘性。
【產業專利導航】
深耕細作MEMS產業專利導航，協助開展區域產業發展規劃，推動專利優勢轉化成為產業優勢。蘇州納米城順利創建全國MEMS產業專利導航綜合服務平臺，以MEMS產業領域為突破口，推動MEMS專利分析和預警研究，為企業提供MEMS專利檢索分析等綜合服務，開展MEMS產業共性技術、關鍵環節專利收儲，為5家重點MEMS企業實施專利微導航項目。協助完成《蘇州工業園區專利導航納米技術應用產業(MEMS方向)創新發展規劃》，積極促成《蘇州工業園區關于促進微納電子機械系統產業發展實施細則（試行）》政策的出臺，讓中小MEMS企業享受更多的政策紅利。
【引進人才培訓體系】
人才發展推動企業發展，產業交流依托技術創新。蘇州納米從市場發展需求出發，引進“人才培訓體系”，聚焦MEMS產業需求，面向全國組織產業技術人才培訓、組織高端創新資源交流論壇，吸引了包括園區在內多地企業、機構人員參加，累計達1000人次。針對國內高校與產業存在的脫節問題，對口培養實用型人才，提高技術人員的實操能力，以努力達到產業要求，確保行業競爭力。
蘇州納米城，作為拓展國內MEMS產業的先行者，為推動國內MEMS產業發展不余遺力。目前區域內MEMS企業已超過30家，涵蓋了設計、制造、封裝、應用整個產業鏈環節，今日智造記者相信，隨著蘇州納米城的壯大和發展，將為中國MEMS產業發展做出更大的貢獻，有蘇州納米城這樣的平臺體系支撐，本土MEMS企業將櫛風沐雨，砥礪前行，共同創造中國MEMS產業的大未來！
